特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，隨著國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測（特別是微電子技術(shù)）的發(fā)展，特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜、醫(yī)藥等新興行業(yè)。
特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。同時，以上分類存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。
特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等，其中，電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過程，主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等，是下行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料，被譽(yù)為電子產(chǎn)業(yè)的“糧食”和“源”，現(xiàn)有單元特種氣體260余種，可配制成25000多種混合氣體。
特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。可以根據(jù)客戶的不同需求和產(chǎn)品的不同特性，采取不同的工序進(jìn)行組合。
電子特種氣體是僅次于硅片和硅基材料的第二大市場需求半導(dǎo)體材料，電子氣體2016年的國內(nèi)市場需求為48.02億，占比14%。電子特種氣體中產(chǎn)品被國外壟斷，該領(lǐng)域主要生產(chǎn)廠家有美國氣體化工、美國普萊克斯、日本昭和電工、德國林德集團(tuán)、法國液化空氣、日本酸素，合計*達(dá)85%。據(jù)全球半導(dǎo)體協(xié)會統(tǒng)計，目前常用的電子氣體純氣有60多種，混合氣80多種。
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